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超純水處理設備在芯片制造行業的應用
來源:http://www.xamz.com.cn/發布時間:2019年03月06日

  隨著水處理行業快速發展,不光有可供人飲用的凈水,清洗各機器的純水也隨之而來。而超純水處理設備在各行業應用十分廣泛,尤其是芯片制造行業對超純水的水質要求非常高,在生產過程中需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。這也對超純水處理設備的處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了嚴格的要求。

  一般來說,我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。

超純水處理設備在芯片制造行業的應用

  為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量。在工藝設計上,超純水處理設備中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,有更高的性價比和設備可靠性。

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